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理音液體顆粒計(jì)數(shù)器的原理及應(yīng)用

更新時(shí)間:2024-11-23      點(diǎn)擊次數(shù):545
  特點(diǎn): 最小檢測(cè)粒徑0.2m,流量每分鐘10毫升;粒徑范圍 (5通道)0.2m,0.3m,0.5m,1m,2m;集成的泄漏傳感器和報(bào)警輸出;藍(lán)寶石傳感器用于KS-42BF。
 
  采用的光散射法原理,可滿足電子化學(xué)品,高純化學(xué)試劑,配方化學(xué)品等藥液中20nm-150um的粒徑測(cè)量需求。
 
  原理:光與顆粒發(fā)生作用主要分為三類,幾何光學(xué)、米氏散 射和瑞利散射。當(dāng)顆粒粒徑遠(yuǎn)大于光波長(zhǎng)時(shí),以幾何光學(xué) 為主;當(dāng)粒徑與波長(zhǎng)相近時(shí),以米氏散射為主;當(dāng)粒徑遠(yuǎn) 小于波長(zhǎng)時(shí),發(fā)生的是瑞利散射。液體顆粒計(jì)數(shù)器根據(jù)光 與顆粒作用的原理設(shè)計(jì)傳感器結(jié)構(gòu),將計(jì)數(shù)器分為光阻法 和光散射法兩類。
 
  應(yīng)用:可檢測(cè)從純水到氫氟酸各種各樣的液體。 液體計(jì)數(shù)器的使用是為了控制化學(xué)品中的粒子,如半導(dǎo)體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料,超純水和清洗用化學(xué)劑比如堿,有機(jī)溶劑和氫氟酸。 另外,也可檢測(cè)化學(xué)機(jī)械拋光中大粒徑的研磨液,測(cè)試方法包括在線和離線測(cè)試。
 
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